隨著微納制造技術的不斷進步，微納傳感器在航空航天、生物醫療、食品安全等領域得到更加廣泛的應用，特別是近幾年來伴隨著汽 車電子產品和物聯網的快速發展，不同類型和功能的新型傳感器的市場需求量越來越大。10月19日至20日，由中國科學院人事局主辦，中國科學院蘇州納米技術與納米仿生研究所承辦，上海材料與制造大型儀器區域中心和蘇州工業園區納米產業技術研究院有限公司協辦的中國科學院精品課程——新型微納傳感器件制造與應用技術研討會成功在蘇舉辦。 

　　本次中國科學院精品課程吸引來自上海交通大學、重慶大學、上海復旦微電子集團股份有限公司、北京大學長三角光電科學研究院、華為技術有限公司、無錫華潤微電子有限公司等全國各地共計98家企事業單位180余名專家學者參加。 

　　本次中國科學院精品課程為期兩天，共計11個報告，涵蓋新型微納傳感器件的加工、測試和應用。中國科學院空天信息創新研究院方震研究員、北京理工大學謝會開教授、南京大學簡小華研究員、深圳市微納制造產業促進會王大偉會長、杭州左藍微電子技術有限公司張樹民總經理、西安電子科技大學李娜教授、西安交通大學關蒙萌助理教授、北京理工大學逯遙副教授、國防科技大學李裴森副研究員、杭州電子科技大學軒偉鵬教授、蘇州工業園區納米產業技術研究院有限公司蔡勇總經理分別講授《無感式監測技術及其在醫療健康領域應用》《MEMS微鏡技術發展現狀及展望》《PMUT超聲換能器及應用》《MEMS傳感器的技術產業化研究報告》《5G時代的射頻濾波器》《聲激勵磁電天線的基礎理論、關鍵技術及工程應用》《TMR磁傳感器及其在電網領域的應用》《MEMS揚聲器的研究與進展》《高性能TMR磁傳感器技術》《壓電超聲MEMS微泵及應用》和《新型傳感器中試量產階段工藝分析》。 

　　20日下午，與會人員實地參觀了蘇州納米所納米加工平臺和蘇州工業園區納米產業技術研究院有限公司 MEMSRIGHT，并進行技術交流。  

　　研討會現場氛圍熱烈，與會的專家學者就新型微納傳感器件制造與應用技術相關領域問題進行了深入的探討和交流。通過總結新型微納傳感器件制造與應用技術的發展現狀、交流最新研究進展并展望發展方向，同時期望搭建優質交流平臺，加強該領域科研工作者之間的交流，進一步促進合作與協同創新。

　　蘇州納米所納米加工平臺面向社會開放，服務科學研究和產品開發，平臺完備的技術設備和高水平工藝服務，有力支撐了區域科研院所和企業自主創新。同時，通過開展納米技術相關培訓，搭建起納米技術人才交流學習的平臺。本屆研討會為公益培訓，作為中國科學院精品課程和中國國際納米技術產業博覽會核心分會，已成功舉辦十屆，累計培訓3000余人次，樹立起品牌效應，發揮區域創新高地優勢，助力納米科技應用型人才培養，推動產學研協同創新。 

        研討會現場               專家報告

        交流研討